FEI Company tillverkar flera ”familjer” av svepelektronmikroskop (SEM) och den nya 50-serien av Quanta har bl.a. fått egenskaper från Magellan-familjen, vilket ger förbättrad ytavbildning (genom bromsad elektronstråle) och minskat brus (företagets Smartscan-teknologi). I familjen ingår två SEM-typer: med och utan FEG (field emission gun), i tre olika storlekar. De kan användas på ledande och icke-ledande material och med SE-detektion eller BSE-detektion (backscatter). Apparaterna har tre olika undersökningslägen: hög- respektive lågvakuum och ESEM (environment-SEM), den sistnämnda för till exempel fuktiga material. De kan också bevaka dynamiska processer, som kristallisering, och dessutom arbeta i temperaturer från -165 och +1 500 °C. Förstoringen sträcker sig från 20 till 1 miljon gånger och elektronstrålens upplösning till 3 nanometer – bildbehandlingsprogrammet har en upplösning på 14 megapixel. Den största av apparaterna (650) rymmer prover som är upp till 25 cm i diameter och knappt 8 cm tjocka.
Mer information:
www.fei.com
